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氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償。

二技術(shù)參數(shù)（本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗(yàn)）

2.1 測(cè)量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍： DN3 100-1000mL/min

DN4 250-2500mL/min

DN6 1000-10000mL/min

DN8 1500-15000mL/min

DN10 2500-25000mL/min

注：(a)以上流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。

2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。

該公司產(chǎn)品分類：金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì) 磁翻柱液位計(jì) 玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器型號(hào):BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字式

貨號(hào):

一、產(chǎn)品主要特點(diǎn):本產(chǎn)品可自動(dòng)測(cè)控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制，度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸入輸出，可測(cè)控瞬間和累計(jì)流量。適用于各種介質(zhì)，可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品，除此以外，還具有以下特點(diǎn)： 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機(jī)做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測(cè)量線性、精度，及實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口，Modbus協(xié)議，與上位機(jī)通訊簡(jiǎn)單方便。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼（316L）材料，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定�？扇我馕恢冒惭b。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能項(xiàng)目\型號(hào) S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉（設(shè)定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時(shí)間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度（℃） 5~45 11 材料不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®， EPDM，或其他由用戶指定 13 漏率＜2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR�；蚱渌捎脩糁付� 15 輸入輸出信號(hào) 模擬0~＋5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口，Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7

產(chǎn)品圖片

INHA氣體質(zhì)量流量控制器

私人定制該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，中外合作，價(jià)格需電議，廠家直銷仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類高新技術(shù)領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請(qǐng) ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì)，是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x表�？芍苯佑脕�(lái)測(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對(duì)工況條件也沒(méi)有苛刻的要求。具有抗干擾能力強(qiáng)，測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨(dú)家技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)專利申請(qǐng)MF系列

MF-50/100/200C MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點(diǎn)：有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm，最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50:1）。——耐高壓（最大工作壓力可達(dá)100bar）——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便，快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價(jià)格極具性價(jià)比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣

用途和特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術(shù)指標(biāo)

編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec）5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃7 輸入輸出信號(hào) 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2～100％滿量程

該公司產(chǎn)品分類：流量顯示控制儀表 INHA氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器

MPC氣體質(zhì)量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake（創(chuàng)立于1906年）型號(hào):MPC系列類型:氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量范圍:2ML—20L/MIN 精度等級(jí):1—2%FS以下適用介質(zhì):空氣/氮?dú)?氧氣/氬氣/CO2模擬信號(hào)：0-5V、1-5V工作壓力:0.5（MPa）工作溫度:-10 到 +60（℃）

盤裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨(dú)自開發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體，可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。特點(diǎn)： 1：全球面板式安裝氣體流量計(jì)；世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最輕300公克） 2：盤式結(jié)構(gòu)，LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作;通訊功能RS-485 3：帶有RS-485通訊，能于其他外部設(shè)備實(shí)現(xiàn)通訊4：采用了感熱式質(zhì)量流量測(cè)量，因此實(shí)現(xiàn)了不受溫度、壓力變動(dòng)影響的精確測(cè)量5：響應(yīng)速度高速1秒以內(nèi)，高精度1—2%FS以下的流量控制

詳細(xì)型號(hào)和資料歡迎來(lái)電咨詢柯勇 13122347382郵箱：keyong0519@163.comQQ：717563143

C50熱式氣體質(zhì)量流量控制器氮?dú)饬髁坑?jì)氬氣流量計(jì)

概要

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡(jiǎn)稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。用這種方法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。

本產(chǎn)品采用中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

MFC出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度－－-273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：滿量程值

產(chǎn)品特點(diǎn)

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無(wú)安裝位置和直管段要求，操作簡(jiǎn)單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過(guò)模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

輸入輸出信號(hào)

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

應(yīng)用行業(yè)

化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

質(zhì)保與服務(wù)

我公司承諾對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說(shuō)明書要求使用，遵守安全注意事項(xiàng)，并且產(chǎn)品沒(méi)有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問(wèn)題，我公司負(fù)責(zé)免費(fèi)維修或更換新品。

在保修期外，我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費(fèi)。維修和維護(hù)后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。

我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問(wèn)題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。

產(chǎn)品規(guī)格

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調(diào)節(jié)閥類型	常閉式
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準(zhǔn)確度	±1％F.S. (≤15SLM)
準(zhǔn)確度	±2％F.S. (＞15SLM)
線性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
線性	±2％F.S. (＞15SLM)
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤2sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作壓差范圍	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
最大耐壓	3MPa
工作環(huán)境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號(hào)	0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率	≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316，316L，密封填料

管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
管道接頭尺寸	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長(zhǎng)×寬×高：127×30×100 mm
凈重量	0.88kg

該公司產(chǎn)品分類：不銹鋼管顯微鏡流量?jī)x表

EL-FLOW® 實(shí)驗(yàn)室型氣體質(zhì)量流量控制器

EL-FLOW®系列質(zhì)量流量控制器是一款高科技代表的產(chǎn)品，能測(cè)量控制流量范圍：0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min，最大操作壓力達(dá)到400 bar。

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現(xiàn)：

精度
穩(wěn)定性
實(shí)用性
品質(zhì)

技術(shù)應(yīng)用：

模塊化結(jié)構(gòu)
電化學(xué)拋光
SMT表面貼裝工藝
噪聲信號(hào)抑制
自動(dòng)溫度補(bǔ)償
內(nèi)部電壓調(diào)整

控制閥被設(shè)計(jì)成模塊化結(jié)構(gòu)，可以方便地更換，Kv值為1.5。獲得專利保護(hù)的獨(dú)特結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能適應(yīng)大流量及高差壓的控制，這是的產(chǎn)品。

應(yīng)用

實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)裝置
在食品、化學(xué)和石化工業(yè)中的過(guò)程控制
發(fā)酵和生物化學(xué)
質(zhì)量控制和泄露偵測(cè)系統(tǒng)
氣體混合控制和環(huán)境控制
燃燒控制
半導(dǎo)體制造
表面處理裝置

流量范圍表(空氣)

F-200C	min. 0,02 ... 1 mln/min
	max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C	min. 0,2 ... 10 mln/min
	max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC	min. 0,2 ... 10 ln/min
	max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC	min. 0,5 ... 25 ln/min
	max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC	min. 2 ... 100 ln/min
	max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M	min. 0,2 ... 10 mln/min
	max. 2 ... 100 ln/min

氣體質(zhì)量流量控制器

工作原理：

被測(cè)氣體分別流經(jīng)兩個(gè)層流區(qū)，一路通過(guò)主流量管道，另一路通過(guò)毛細(xì)測(cè)量管。

兩個(gè)管路的設(shè)計(jì)保證流體處于層流狀態(tài)，因此兩個(gè)管路流量比是恒定的。

兩個(gè)精密的溫度感應(yīng)繞組在測(cè)量管上被加熱，當(dāng)有流量產(chǎn)生時(shí)，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。

測(cè)量繞組的電阻值與瞬時(shí)流量成線性比例關(guān)系，采用惠斯頓電橋來(lái)檢測(cè)測(cè)量繞組的電阻變化。

根據(jù)被測(cè)氣體的質(zhì)量流量，輸出0-5VDC或者4-20mA信號(hào)。

經(jīng)過(guò)兩個(gè)層流區(qū)的氣體混合后流過(guò)具體特定孔徑的電磁比例閥，質(zhì)量流量測(cè)量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng)，使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。

在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會(huì)影響流速。參數(shù)規(guī)格：

產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器精度：精度%FS

型號(hào) GFC17,37，47 GFC57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1.5% ±3%

可選精度%FS

型號(hào) GFC17 GFC37，47,57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%

校準(zhǔn)：標(biāo)況【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

重復(fù)性：±0.25%滿里程、

響應(yīng)時(shí)間：在滿里程的25-100%范圍內(nèi)，2秒內(nèi)達(dá)到2%精度

溫度系數(shù)：0.05%滿里程/℃

壓力系數(shù)：0.01%滿里程/psi（0.07bar）

推薦氣體壓力：25psig（1.73bars）

最大氣體壓力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

量程比：40:1

最大壓差：GFC17/37/57/67/77 50psi（3.4bars），GFC47 40psi（2.7bars）

氣體和周圍溫度：32℉-122℉（0℃-50℃），14℉-122℉（-10℃-50℃），干燥氣體

方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置

輸出信號(hào)：線性0-5Vdc（3000ohms最小負(fù)載阻抗）；線性4-20mA（500ohms最大回路電阻）最大噪聲±20mV

控制信號(hào)：遠(yuǎn)程設(shè)定模式：模擬0-5Vdc或4-20mA；NPN兼容清洗/關(guān)閥

連接：GFC17and37：1/4＂卡套連接

可選6mm，1/4VCR，3/8或1/8卡套

GFC47：3/8＂卡套

GFC57：3/8＂卡套

GFC67：1/2＂卡套

GFC77：3/4＂FNPT.可選：3/4＂卡套

泄漏率：氦氣泄漏率1*109sml/s

輸入電源：+12Vdc，800mA；可選+24Vdc，650mA

回路保護(hù)：電路板內(nèi)置極性保護(hù)，自動(dòng)恢復(fù)電阻保護(hù)電源過(guò)載輸入

顯示：3-1/2數(shù)字LCD，0.5＂英寸高字符

CE認(rèn)證：EN55011class1,classB;EN50082-1產(chǎn)品視頻：

該公司產(chǎn)品分類：配氣系統(tǒng) 壓力開關(guān) 壓力開關(guān) 流量控制器蠕動(dòng)泵泵步進(jìn)電動(dòng)閥流量調(diào)節(jié)閥流量調(diào)節(jié)閥氣體流量計(jì) 流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器轉(zhuǎn)子流量計(jì)/浮子流量計(jì) 質(zhì)量流量計(jì) 流量控制器流量計(jì)

氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)：1. 滿量程從0.5ccm到1500lpm2. 響應(yīng)時(shí)間10ms3. 量程比優(yōu)于100：14. 精度±0.8％讀數(shù)±0.2％滿量程（可選±0.4％讀數(shù)±0.2％滿量程）5. 本地顯示、rs-232或模擬信號(hào)輸出質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓6. 自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按鍵復(fù)位7. 安裝位置不敏感8. 現(xiàn)場(chǎng)可選30種校驗(yàn)氣體差壓原理與熱式原理對(duì)照表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來(lái)測(cè)量流量。通過(guò)層狀流量單元的差壓測(cè)量來(lái)計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來(lái)測(cè)量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（如1個(gè)大氣壓@25℃）下氣體的體積流量�？蓽y(cè)量4種參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計(jì)流量，并且可以通過(guò)動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示�？蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測(cè)試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來(lái)測(cè)量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒(méi)有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，價(jià)格會(huì)便宜一些，是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示： alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能（無(wú)顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過(guò)程參數(shù)信息，用戶通過(guò)按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測(cè)的氣體(30種校驗(yàn)氣體)，調(diào)節(jié)pid參數(shù)，將測(cè)量流量清零等。

數(shù)字輸出（rs-232）：所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號(hào)通過(guò)8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無(wú)需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級(jí)終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。對(duì)于質(zhì)量流量控制器，通過(guò)rs-232所顯示的過(guò)程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的�？刂乒δ芤才c每個(gè)型號(hào)的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出：模擬信號(hào)通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來(lái)提供。默認(rèn)的模擬信號(hào)是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號(hào)。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，如右上圖所示）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式�？蛇x第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過(guò)“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，參考右上圖）來(lái)控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域: 醫(yī)藥、工業(yè)、過(guò)程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測(cè)試選項(xiàng)附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包（使測(cè)試儀器便攜） 7. 多種獨(dú)立的輸出

微小氣體質(zhì)量流量控制器，廠家直銷高精度高穩(wěn)定性快速響應(yīng)價(jià)格優(yōu)，歡迎新老客戶來(lái)電咨詢！

LF400系列采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。

　　可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。

　　產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

　　o模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：

　　低單價(jià)

　　環(huán)境溫度補(bǔ)正

　　可應(yīng)用的流率范圍廣：

　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

　　0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

　　高精度

　　±1%(≤15SLM)

　　±1.5%(＞15SLM.)

　　可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能

　　國(guó)際兼容

　　氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。

　　標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：

　　標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）

　　標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa

功能		流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)		LF400-S
滿量程流量范圍(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM.)
控制閥動(dòng)作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±1.5％(＞15SLM.)
重復(fù)精度(％F.S.)		±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec)		≤1
流量輸出信號(hào)		0-+5.00V
流量設(shè)定信號(hào)		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
最大耐壓		3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)		304，316，316L
密封材料		氟橡膠，硅橡膠，丁氰橡膠，聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		1.0KG

該公司產(chǎn)品分類：氣路配件混氣系統(tǒng) 質(zhì)量流量控制器

M3030V小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

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小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

氣體質(zhì)量流量控制器M3030V，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償。氣體質(zhì)量流量控制器M3030V是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體流量的穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會(huì)影響其正常的工作。

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V產(chǎn)品亮點(diǎn)：

-類型：MFC氣體質(zhì)量流量控制器

-控制范圍：10sccm ～ 30slpm （sccm:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分 slpm:標(biāo)準(zhǔn)升/分）

-準(zhǔn)度等級(jí): ±1% F.S

-耐壓：≤90bar

-標(biāo)準(zhǔn)接口：0-5VDC，4-20mA可選

-響應(yīng)時(shí)間：≤2sec

-使用范圍：2~100% for max range

-供電電源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏率：1×10-9atm·cc/sec

-氣路連接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-適用介質(zhì)：所有氣體（含腐蝕性氣體和有毒氣體）

-無(wú)需溫度、壓力補(bǔ)償

小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

產(chǎn)品型號(hào)	M3030V	M3030A
流量范圍（N2）	10sccm ～ 30slpm	10sccm ～ 30slpm
響應(yīng)時(shí)間	≤2秒	≤2秒
準(zhǔn)確度	≤±1% 滿量程	≤±1% 滿量程
重復(fù)精度	≤±0.25% 滿量程	≤±0.25% 滿量程
輸出輸入信號(hào)	0~5Vdc	0~5Vdc或4~20毫安
供電	+15~+28Vdc，350毫安	+15~+28Vdc，350毫安
耐壓	≤90 bar	≤90 bar
工作環(huán)境溫度	0~50 °C	0~50 °C

應(yīng)用領(lǐng)域：－分析儀器－干刻（RIE/DRIE）－燃料電池－生物技術(shù) －氣相色譜分析－等離子刻蝕－激光焊機(jī) －混氣配氣系統(tǒng) －微反應(yīng)裝置－真空鍍膜－過(guò)程自動(dòng)化－石化工業(yè)

該公司產(chǎn)品分類： PM2.5傳感器空氣質(zhì)量傳感器氫氣泄漏檢測(cè)傳感器HLS-440 VOC空氣質(zhì)量傳感器 iAQ-engine

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氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器型號(hào):BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字式

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氣體質(zhì)量流量控制器

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微小氣體質(zhì)量流量控制器，廠家直銷高精度高穩(wěn)定性快速響應(yīng)價(jià)格優(yōu)，歡迎新老客戶來(lái)電咨詢！

M3030V小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V

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