fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,為潔凈室顆粒沉積速率測(cè)量而研發(fā),支持間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測(cè)量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀(guān)易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測(cè)向表面潔凈度監(jiān)測(cè)的跨越式升,為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。