烘箱專場,烘箱商家多、資料全面第35組

精密烘箱

型號	GJ- 2010A	DJ- 2010B
內(nèi)箱尺寸	40 ×40 ×45cm W×D×H	50 ×50 ×60cm W×D×H
外箱尺寸	60 ×55 ×75cm W×D×H	70 ×65 ×90cm W×D×H
溫控范圍	常溫~200℃
控制方式	P.I.D. 自動溫度演算
溫度解析	0.1℃單位顯示
控制精度	±0.3 ℃
分布精度	±1%(1℃) at-room100℃
定時器	0～9999分鐘, 停電記憶型, 蜂鳴器
標(biāo)準(zhǔn)備件	棚板2片、觀測窗
加熱方式	熱風(fēng)內(nèi)循環(huán)
安全保護(hù)	獨立EGO超溫斷電、安全過載開關(guān)
制造材質(zhì)	內(nèi)部SUS#304不銹鋼板、外部: 烤漆涂裝
電源	1Ø, AC 220V, 50Hz 10A

烘箱型膠帶保持力試驗機

又名: 烘箱型膠帶保持力試驗機、烘箱型持粘力試驗機、烘箱型持粘力測試儀

簡述: 本機臺使用于膠帶在高溫條件下粘著的靜負(fù)荷試驗,在一定的粘著面積與何重下,測試膠帶所能承受的時間,介以評定膠帶粘著的持久性.

適合行業(yè):各類膠粘帶

技術(shù)參數(shù):

A. 溫度:常溫~200℃

B. 試驗治具:10組或20組

C. 法碼:1KG或指定

D. 計時器:99999.99小時

E. 機臺尺寸:1000＊600＊1000mm

F. 重量:100KG

安全保護(hù)裝置: 高溫保護(hù)裝置, 無熔絲過載保護(hù)。

保修期:壹年內(nèi)非人為損壞免費維修,壹年后可簽約保修和保養(yǎng)有償服務(wù)

專業(yè)技術(shù)服務(wù)郵箱:hengyu2008sz@163.com

為進(jìn)一步方便江浙滬一帶客戶，本公司以遷致蘇州市吳中區(qū)旺吳路53號,蘇州公司設(shè)有專業(yè)售后服務(wù)部、展示廳、標(biāo)準(zhǔn)計量室.提供部分試驗機的樣品展示和校正。同時我司可訂做非標(biāo)試驗機,歡迎來電咨詢.恒宇儀器24小時服務(wù)電話:13402584090等待您的來電.

YY-15-2P單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機15W 恒溫箱培養(yǎng)箱烘箱電機

杭州富陽火森電器有限公司是專業(yè)生產(chǎn)各種電機的現(xiàn)代化企業(yè).年產(chǎn)電機50萬臺,主要產(chǎn)品有:YY系列單相電容運轉(zhuǎn)電動機;YY系列冷凝器專用電動機;YY系列空調(diào)器風(fēng)扇電動機;

各種新老系列分馬力電動機.我們公司質(zhì)量方針:以良好的服務(wù),不斷提升的質(zhì)量;滿足顧客的需求.不斷開發(fā)是我們始終如一的目標(biāo)

不斷發(fā)展和完善科研,生產(chǎn)一體化是的發(fā)展方向,創(chuàng)富陽火森品牌是富陽火森的目標(biāo),富陽火森將以不斷拼搏進(jìn)取的精神,使富陽火森電機更加卓越,進(jìn)一步贏得國內(nèi)外市場.

火森電器公司全體員工竭誠歡迎國內(nèi)外用戶的光臨.

電機介紹:YY-15-2單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YYC-10-2P單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機

冷干機電機有：YY120-50/4 , YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4 YYF96-90/4 YYF94-30/4 YY95-100-4 YYF110-90-4等型號。

YWF120-23/4單相風(fēng)扇電動機，YWF94-25/4單相風(fēng)扇電動機，YY95-30-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機250mm風(fēng)葉直徑，YY95-45-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機

YY95-100/4電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY95-120-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機,YY120-50/4三相風(fēng)扇電動機,YWF單相電容異步電動機，SF300-6P 底部安裝電機

YSK-30W-2P異步電機,YDK30-6.LSF-71E三相風(fēng)扇電動機,YYF120-60/6冷風(fēng)機用電容運轉(zhuǎn)異步電動機。

冷凍式干燥機風(fēng)機，螺桿機，吸頂風(fēng)機的型號有： YWF 4E , YWF 4D ,YWF6E, YWF6D外轉(zhuǎn)子風(fēng)機

除濕機電機有 582除濕機電機YY30-94/6 801除濕機電機YY120-23 1601除濕機電機 1501除濕機電機YY120-30

YY30-118/6單相風(fēng)扇電動機 1382專用電機單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機YY-22 （1501專用） YY-16電容運轉(zhuǎn)異步電動機除濕機582專用電機 YY-13電容運轉(zhuǎn)異步電動機除濕機801專用電機

YY120電容運轉(zhuǎn)異步電動機除濕機1501專用電機除濕機1601專用電機，YY120-23/4單相風(fēng)扇電動機

冷干機電機有：YY120-50/4單相風(fēng)扇電動機 ,YY120-100/4單相風(fēng)扇電動機 YY96-150/4冷風(fēng)機電容運轉(zhuǎn)電動機 ,YY-15-2P單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機

YDK-15-2單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YYC-10-2p單相電容運轉(zhuǎn)異步電機恒溫箱電機，干燥箱電機，培養(yǎng)箱風(fēng)扇電機

YWF120-23/4單相風(fēng)扇電動機，YWF94-25/4單相風(fēng)扇電動機，YY95-30-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機250mm風(fēng)葉直徑，YY95-45-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機

YY95-100/4電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY95-120-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY120-50/4三相風(fēng)扇電動機,YSK-30W-2P異步電機, YDK30-6風(fēng)扇電機

YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4單相風(fēng)扇電動機 YYF96-90/4冷風(fēng)機電容運轉(zhuǎn)異步電動機,LSF-71E三相風(fēng)扇電動機

YYF94-30/4 YY95-100-4 YYF110-90-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機等型號 YYF96-90/4冷風(fēng)機用電容運轉(zhuǎn)異步電動機，LSF-71E三相風(fēng)扇電動機,YYF120-60/6冷風(fēng)機用電容運轉(zhuǎn)異步電動機

除濕機電機有: 1601除濕機電機 1501除濕機電機 801除濕機電機 582除濕機電機,凈化器，空氣凈化器，空氣凈化器電機

外轉(zhuǎn)子風(fēng)機有：冷凍式干燥機風(fēng)機吸干機風(fēng)機冷凍式空氣干燥機風(fēng)扇冷干機散熱風(fēng)機冷凝器散熱風(fēng)機冷凝器風(fēng)扇冷風(fēng)機電容異步電動機

吸附式干燥機風(fēng)扇電機 YWF4D三相異步電動機 YWF4E單相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)機 YDWF風(fēng)機外轉(zhuǎn)子軸流 YSWDF外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)扇電動機

YWF4D 單相風(fēng)扇電動機 YWF4E 三相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)機 YSWF4D 單相異步電容啟動電動機 YSWF4E 單相異步外轉(zhuǎn)子風(fēng)扇 YDWF4D無油空壓機電機

無油靜音空壓機電機 YDWF4E 空壓機電機頭靜音空壓機電機。錠轉(zhuǎn)子下線錠轉(zhuǎn)子崁線錠轉(zhuǎn)子繞線下線定轉(zhuǎn)子加工定轉(zhuǎn)子崁線錠轉(zhuǎn)子加工

冷風(fēng)機用電容運轉(zhuǎn)異步電動機

冷干機電機有：YY120-50/4單相風(fēng)扇電動機 , YY94-30/4 , YY94-25/4 , YY94-15/4 YYF96-90/4冷風(fēng)機用電容運轉(zhuǎn)異步電動機 YYF94-30/4單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機

YY95-100-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY95-30-4電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY95-45-4異步電動機 YYF110-90-4等型號。

冷凍式干燥機風(fēng)機，螺桿機，吸頂風(fēng)機的型號有： YWF 4E , YWF 4D ,YWF6E, YWF6D外轉(zhuǎn)子風(fēng)機

單相電容運轉(zhuǎn)異步電動,（1501專用),YY-22 , (801專用)，單相電容運轉(zhuǎn)異步電動 YY120，YY-13單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機，YY-16單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機

除濕機電機有 582除濕機電機YY30-94/6 YY16電容運轉(zhuǎn)異步電動機 801除濕機電機YY120-23 1601除濕機電機 1501除濕機電機YY120-30

除濕機582專用電機 YY13電容運轉(zhuǎn)異步電動機除濕機801專用電機除濕機1501專用電機，YY140-8單相電容運轉(zhuǎn)異步電動機，除濕機1601專用電機

杭州富陽火森電器有限公司(前身為富陽火森電器廠）中心25公里，傍依杭富沿江公路連接杭州市和富陽市區(qū)，交通十分便利。

近年來，企業(yè)注重產(chǎn)品質(zhì)量，加強科學(xué)管理，堅持科技進(jìn)步，不斷開發(fā)新產(chǎn)品。

公司恪守誠信、堅持創(chuàng)新、追求卓越，歡迎社會各屆來電來函洽談業(yè)務(wù)，本公司竭誠為你服務(wù)！

冷干機電機、外轉(zhuǎn)子電機、內(nèi)轉(zhuǎn)子風(fēng)機.除濕機電機、直流電機、開門機定轉(zhuǎn)子配件、

單相電容電機的生產(chǎn)與加工.除濕機、豆?jié){機、冷干機、碎紙機、榨汁機、磨鏈機、開門機、數(shù)控車床、紡織機械等

該公司產(chǎn)品分類：恒溫箱干燥箱電機抽濕機風(fēng)幕機雙出軸電機開門機電機直流電機單相電容運轉(zhuǎn)電動機擦鞋機電機外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)機除濕機冷干機

ST0736-1瀝青旋轉(zhuǎn)薄烘箱

ST0736-1 瀝青旋轉(zhuǎn)薄膜烘箱

適用范圍及方法概要

本產(chǎn)品參照SH/T0736-2003石油行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)研制而成，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的試驗法用以測定熱和空氣對半固態(tài)、瀝青膜性能的影響，其結(jié)果由比較試驗前后瀝青性質(zhì)的變化確定。

主要技術(shù)參數(shù)

適用標(biāo)準(zhǔn)：SH/T0736-2003

控溫方式：數(shù)顯PID溫控儀

控溫范圍：163℃±0.5℃

相關(guān)產(chǎn)品鏈接:

ST265-1運動粘度測定器
ST265-4F低溫運動粘度測定器
ST265-2運動粘度測定器
ST265-6低溫運動粘度測定器
ST11137-1深色石油產(chǎn)品運動粘度測定儀
ST0557-1石油瀝青粘度測定儀
ST265-1A運動粘度測定器

BA-OVEN-LU生產(chǎn)烘箱測試機|蒸汽老化試驗機廠家2012最新格價

OTS正邦測試儀器（東莞）公司銷售烘箱測試機烘箱適用于烘烤有化學(xué)性氣體及食品加工行業(yè)的欲烘烤物品、基板應(yīng)力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、食品、印刷、制藥、PC板、粉體、含浸、噴涂、玻璃、陶瓷、木器建材……等等的精密烘烤、烘干、回火、預(yù)熱、定型、加工等。

主要參數(shù):

工作室溫度范圍室溫~250℃特殊可達(dá)350-400℃

工作室含塵濃度 ≥0.5UM塵粒≤3.5顆/升

工作室內(nèi)凈尺寸寬650×高620×深430（MM）

外開尺寸寬790×高1400×深915（MM）

電源 380V 50hz

功耗 4KW，風(fēng)機功率 180W

控溫精度 ±1℃

1.真空環(huán)境大大降低了需要驅(qū)逐的液體的沸點,所以真空干燥箱可以輕松應(yīng)用于熱敏性物質(zhì)。

2.對于不容易干燥的樣品,例如粉末或其他顆粒狀樣品,使用真空干燥法可以縮短干燥時間。

3.各種構(gòu)造復(fù)雜的機械部件或其他多孔樣品經(jīng)過清洗后使用真空干燥法,干燥后不留任何參與物質(zhì)。

4.使用更安全－－在真空或惰性條件下,消除氧化物遇熱爆炸的可能。

5.與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比,粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動。

OTS正邦測試儀器（東莞）公司成立至今,一直于研發(fā)制造烘箱、電爐、高低溫試驗箱、電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱、工業(yè)烤箱、印制板烘箱、潔凈烘箱、高溫烘箱、充氮烘箱、光電元件干燥箱、電焊條烘干箱、電力電容器烘干箱、臺車烘箱、電熱密閉烘箱.本廠匯集了一批高層次.高素質(zhì)的專業(yè)人才，采用的管理經(jīng)驗，建立了完整的質(zhì)量體系。公司技術(shù)力量雄厚、工藝裝備、制造經(jīng)驗豐富、產(chǎn)品質(zhì)量、售后服務(wù)周到，擁有專業(yè)的生產(chǎn)和管理人員，的產(chǎn)品試驗設(shè)備，檢測儀器和加工設(shè)備。并具有豐富的設(shè)計制造經(jīng)驗和完善的售后服務(wù)體系，多年深受用戶信賴。

烘箱測試機的參數(shù):http://www.ots17.net/xiangxi.php?cid=335

烘箱測試機首頁:www.ots17.net

GHW石墨舟烘箱,石墨舟烘干機價格

石墨舟烘箱

1.工作室尺寸：1100×1300×1000

2.溫度范圍：RT+10～150℃

3.溫度波動度：±1℃

4.溫度均勻度：±3℃

5.控制方式：PID+SSR出力

6.內(nèi)箱材質(zhì)：SUS304不銹鋼板

7.外箱材質(zhì)：A3鋼板噴塑

8.保溫材質(zhì)：玻璃棉

9.加熱器材質(zhì)：不銹鋼電熱器，不易氧化

10.溫度控制器：日本“富士”智能型單段式溫度控制儀*按鍵設(shè)定式數(shù)據(jù)輸入*PID動作及自動演算功能

12.測溫體：PT100

13.定時器：LED數(shù)字顯示定時器功能，時間到報警,三色聲光報警

14.保護(hù)裝置：超溫保護(hù)器，無熔絲開關(guān)

15.風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)：水平循環(huán)送風(fēng)

16.迫緊：硅膠，密封良好

17.控制箱：電器控制柜位于試驗箱頂部

18.附氮氣進(jìn)入口,進(jìn)氣口;

備注:配兩層不銹鋼隔板

該公司產(chǎn)品分類：烘箱|干燥箱石墨舟烘箱老化房滴水試驗裝置擺桿淋雨試驗裝置光伏組件環(huán)境試驗箱中空玻璃高溫高濕循環(huán)試驗機紫外光耐氣候試驗箱氙燈耐氣候試驗箱光輻射試驗箱防銹油脂濕熱試驗箱臺式恒溫恒濕箱臭氧老化試驗箱砂塵試驗箱淋雨試驗箱鹽霧腐蝕試驗箱固化烘箱煮沸試驗箱可程式恒溫恒溫箱高低溫濕熱試驗箱

SA-烘箱

高溫箱,鼓風(fēng)干燥箱,熱風(fēng)循環(huán)干燥箱,烘箱,面對各行業(yè)的專業(yè)設(shè)備.（溫度可選）

上海松安制冷技術(shù)有限公司

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　劉先生銷售工程部經(jīng)理

地址: 上海市中山北路311號郵編: 200070 　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 021-66359851 / 13918385033

沈陽市-烘箱生產(chǎn)廠家

本公司是一家集研發(fā),生產(chǎn),銷售,服務(wù)為一體的高新技術(shù)企業(yè).致力于客戶提供科技優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品.產(chǎn)品性能的可靠性,安全性等各項指標(biāo)均達(dá)到行業(yè)規(guī)定的一流標(biāo)準(zhǔn),繼而被各界合作單位認(rèn)同知名企業(yè).電話:/31314396

【林頻】是臺式烘箱的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司同時還生產(chǎn)各種標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)的環(huán)境試驗設(shè)備！產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、大專院校、質(zhì)檢科研單位、汽摩行業(yè)、電子電工、通迅設(shè)備、電鍍涂層、汽車飾件等眾多領(lǐng)域。獲得廣大新老客戶高度贊揚！

以下是關(guān)于"臺式烘箱"的相關(guān)資料,請參考:

型號:DHG-9023A 工作室尺寸:340×325×300 外型尺寸:620×540×490 功率：870W型號:DHG-9030A 工作室尺寸:340×320×320 外型尺寸:620×538×490 功率：870W型號:DHG-9053A 工作室尺寸:420×395×350 外型尺寸:700×610×520 功率：1120W型號:DHG-9070A 工作室尺寸:450×400×450 外型尺寸:740×618×630 功率：1570W型號:DHG-9140A 工作室尺寸:550×450×550 外型尺寸:840×670×730 功率：2070W型號:DHG-9240A 工作室尺寸:600×500×750 外型尺寸:880×720×930 功率：2470W

一、技術(shù)指標(biāo)1、溫度范圍：RT+10℃～250℃/RT+10℃～300℃2、控制精度：±1％（滿量程）3、恒溫波動度：±1℃4、溫度分辨率：0.1℃5、升溫速率：2.0～8.0℃/min6、溫度定時范圍：1-9999M7、載物托盤：2（PCS）8、電源要求：AC220V 50Hz

二、箱體結(jié)構(gòu)1、試驗箱設(shè)計完美，箱體采用數(shù)控機床加工成型，操作容易；2、設(shè)有雙層玻璃觀察窗，供觀察工作室狀況之用；3、內(nèi)膽為優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀；4、電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟，方便維護(hù)和檢修；5、送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)采用低噪音、長壽命、空調(diào)型美國進(jìn)口風(fēng)機，風(fēng)輪為多翼式離心風(fēng)葉。熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)由能在高溫下連續(xù)運轉(zhuǎn)的風(fēng)機和合適的風(fēng)道組成。工作室內(nèi)溫度均勻。

三、控溫系統(tǒng)溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、P.I.D智能控制儀表；精度：0.1℃（顯示范圍）；解析度：±0.1℃；感溫傳感器：PT100鉑電阻測試器；控制方式：熱平衡調(diào)溫方式。

四、保溫系統(tǒng)保溫系統(tǒng)采用超細(xì)玻璃纖維填充保溫區(qū),內(nèi)外膽連接部位采用非金屬耐高溫材料,有效降低高溫度傳導(dǎo)。

1、供貨期: 收到預(yù)付款后3個工作日內(nèi)發(fā)貨；2、付款方式: 面議或電詢；3、送貨方式：通過汽運或托運免費送貨上門；4、售后服務(wù)：保修壹年，終生維護(hù)，每半年一次不定期保養(yǎng)。

主營產(chǎn)品:鹽霧試驗箱/二氧化硫試驗箱/高低溫試驗箱/高溫試驗箱/低溫試驗箱/溫度沖擊試驗箱/恒溫恒濕試驗箱/紫外耐候試驗箱/氙燈試驗箱/換氣式老化試驗箱/砂塵試驗箱/箱式淋雨試驗箱/擺管淋雨試驗裝置/滴水試驗裝置/臭氧老化試驗箱/霉菌試驗箱/鹽霧試驗室/ 高低溫試驗室/振動試驗臺/防銹油脂濕熱試驗箱/精密干燥試驗箱/高溫箱/真空烘箱/大型步入式試驗箱/藥品穩(wěn)定性試驗箱/臺式氙燈老化試驗箱/鹽霧恒溫恒濕高溫試驗箱/溫度老化室/鹽霧試驗箱/高低溫試驗箱/恒溫恒濕試驗箱/溫濕度振動試驗箱

該公司產(chǎn)品分類：環(huán)境可靠性試驗設(shè)備環(huán)境可靠性試驗設(shè)備高低溫試驗箱高低溫實驗室高低溫試驗箱高低溫實驗室環(huán)境可靠性試驗設(shè)備鹽霧試驗箱高低溫試驗箱

HNDS-90Ahmds真空烘箱/hmds烤箱、hmds預(yù)處理系統(tǒng)/hmds真空鍍膜機

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是至關(guān)重要的一個工藝環(huán)節(jié)，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質(zhì)量，所以涂膠也顯得尤為必要，尤其在所刻線條比較細(xì)的時候，任何一個環(huán)節(jié)有一點紕漏，都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中，所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶片表面直接涂膠的話，勢必會造成光刻膠和晶片的粘合性較差，甚至造成局部的間隙或氣泡，涂膠厚度和均勻性都受到了影響，從而影響了光刻效果和顯影。

為了解決這一問題，涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物，這實際上是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷�，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起到耦合的作用，再者，在顯影的過程中，由于它增強了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。最初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題，但隨著光刻線條的越來越細(xì)，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。

2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點在于：

（1）預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有著更好的處理效果。

（2）處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

（3）效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。

（4）更加節(jié)省藥液。實踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多；

（5）更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環(huán)境造成污染。

3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

整個系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。

3.1加熱模塊

由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。

本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱，采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制，調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出，從而實現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

3.2真空模塊

由機械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再贅述。

3.3充氮模塊

作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。

主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

3.4加藥模塊

加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。

它主要由藥液瓶，接口、控制閥和噴頭組成。

3.5控制模塊

控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊，它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。

它主要由人機界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報警等5部分組成。

人機界面采用臺灣威綸通觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。

4軟件組成

整個控制軟件共分4個部分，即自動運行、手動控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。

當(dāng)按下自動運行鍵后，畫面轉(zhuǎn)換到運行畫面，顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài)，運行時間等，同時系統(tǒng)開始運行。

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮氣，充到達(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮氣的過程，達(dá)到設(shè)定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數(shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異�？牲c擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

內(nèi)部尺寸：450X450X450

電源： AC220V，功率：3000W

真空度：常壓到—133pa或1TORR以下

材質(zhì)：內(nèi)部SUS316電解處理外殼SS41靜電噴涂。

管路： SUS潔凈管

層架； SUS316材質(zhì)

門內(nèi)板：鋼化玻璃

流程控制：液晶觸摸屏（臺灣威綸通）、PLC控制(三菱)，流程可編輯，可以預(yù)存5組程序。（可根客戶要求可以更改流程）

加熱方式：腔體外側(cè)加溫。溫度：RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫

精確可靠�？販鼐龋�1℃，真空室溫度均勻

氮氣裝置：氮氣進(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置，控制有自動閥完成。

HMDS裝置：HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶內(nèi)HMDS方式，自動閥控制

真空泵：抽氣速度4升\秒

工作流程：

首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮氣，充到達(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮氣的過程，達(dá)到設(shè)定的充入氮氣的次數(shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空、充入氮氣，次數(shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時給出聲光報警等待取片，在自動工作過程中若出現(xiàn)異常可點擊運行畫面中的停止鍵，隨時終止程序的運行。

該公司產(chǎn)品分類：烘箱

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