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特點(diǎn)：
u Z軸裝有數(shù)顯弧形標(biāo)尺，可以提供更大的測(cè)量范圍和更高的分辨率，從而不必再依次測(cè)量倍率。
u 可以應(yīng)用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng) （個(gè)人計(jì)算機(jī)和Rormpak-1000軟件和XYX坐標(biāo)繪圖儀）
| X軸 | 測(cè)量范圍 | 50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 | |
| 分辨率 | 0.2μm | ||
| 測(cè)量方法 | 反射型光柵尺 | ||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手動(dòng) | ||
| 測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 測(cè)量方向 | /向后 | ||
| 直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm（當(dāng)X軸在水平方向上 | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+2L/100）μm L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm） | ||
| 傾斜范圍 | ±45°（CV-2000） | ||
| Z1軸 | 測(cè)量范圍 | 25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） | |
| 分辨率 | 0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列） | ||
| 測(cè)量方法 | 弧形編碼器 | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（3.5+14H/25）μm） H為水平位置上的測(cè)量高度（mm） | ||
| 探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) | ||
| 探針?lè)较?/span> | 向下 | ||
| 測(cè)力 | 10-30mN | ||
| 跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
| 材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | ||
| 基座尺寸（WxH） | 750x600mm（CV-2000） | ||
| 基座材料 | 花崗巖（CV-2000） | ||
| 重量 | 主機(jī) | 5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） | |
| 控制裝置 | 14kg | ||
| 遙控箱 | 0.9kg | ||
| 電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 150W主機(jī) | ||
性能參數(shù)
| 型號(hào) | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
| X1軸測(cè)量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
| Z1軸測(cè)量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
| Z2軸測(cè)量范圍 | - | 250mm | 320mm |
技術(shù)參數(shù)
| X軸 | 測(cè)量范圍 | 100mm或200mm | |
| 分辨率 | 0.05μm | ||
| 測(cè)量方法 | 反射型光柵尺 | ||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 80mm/s和手動(dòng) | ||
| 測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 測(cè)量方向 | 向前/向后 | ||
| 直線度 | 0.8μm /mm,2μm/mm（當(dāng)X軸在水平方向上） | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（1+0.01L）μm（CV-3100S4,H4,W4） ±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4,H4,W4） ±（1+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） ±（0.8+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8） L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm） | ||
| 傾斜范圍 | ±45° | ||
| Z2軸（立軸） | 垂直行程 | 300mm或500mm | |
| 分辨率 | 1μm | ||
| 測(cè)量方法 | ABSQLUTE光柵尺 | ||
| 驅(qū)動(dòng)速度 | 0-20mm/s和手動(dòng) | ||
| Z1軸 | 測(cè)量范圍 | ±25mm | |
| 分辨率 | 0.2μm（CV-3100系列） 0.05μm（CV-4100系列） | ||
| 測(cè)量方法 | 光柵尺（CV-31000系列） Laser holigage（CV-4100系列） | ||
| 指示精度 （20℃） | ±（2+14H/100）μm（CV-3100系列） ±（0.8+12H/00）0.05μm（CV-4100系列） H為水平位置上的測(cè)量高度（mm） | ||
| 探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) | ||
| 探針?lè)较?/span> | 向上/向下 | ||
| 測(cè)力 | 30mN | ||
| 跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
|
| 材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | |
| 基座尺寸（WxH） | 750x600mm或1000x450mm | ||
| 基座材料 | 花崗巖 | ||
| 重量 | 主機(jī) | 140kg（S4） 150kg（H4） 155kg（W4） 145lg（S8） 155kg（H8） 160kg（W8） | |
| 控制裝置 | 14kg | ||
| 遙控箱 | 0.9kg | ||
| 電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 400W主機(jī) | ||
性能參數(shù)
| 型號(hào) | CV-3100S4/ CV-4100S4 | CV-3100H4/ CV-4100H4 | CV-3100V4/ CV-4100V4 |
| X1軸測(cè)量范圍 | 100mm | 100mm | 100mm |
| 垂直行程 | 300mm電動(dòng)立拄 | 500mm電動(dòng)立拄 | 500mm電動(dòng)立拄 |
| 花崗巖基座尺寸（WxD） | 600x450mm | 600x450mm | 1000x450mm |
| 尺寸（主機(jī)、WxDxH） | 741x450x905mm | 741x450x1105mm | 1118x450x1111mm |
| 重量（主機(jī)） | 140kg | 150kg | 155kg |
| 型號(hào) | CV-3100S8/ CV-4100S8 | CV-3100H8/ CV-4100H8 | CV-3100V8/ CV-4100V8 |
| X1軸測(cè)量范圍 | 200mm | 200mm | 200mm |
| 垂直行程 | 300mm電動(dòng)立拄 | 500mm電動(dòng)立拄 | 500mm電動(dòng)立拄 |
| 花崗巖基座尺寸（WxD） | 600x450mm | 600x450mm | 1000x450mm |
| 尺寸（主機(jī)、WxDxH） | 741x450x905mm | 767x450x1105mm | 1144x450x1111mm |
| 重量（主機(jī)） | 145kg | 155kg | 160kg |